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特點：
■ 半導體製程Sub fab化學液濃度監控設計，感應器為teflon材質
■ 感應器高溫應用設計及防爆ATEX設計
■ Connected to the process by a flare fitting, G1/2 inch female or a 1/2 inch NPT process connection. Mounted directly in-line without filtering.
■ 可選TeflonPTFE或Teflon PFA或Kynar PVDF或AISI 316L stainless steel
■ 供儲存化學溶液監控、photoresist development、photoresist stripping、蝕刻、蝕刻後槽體清潔、化學機械拋光(CMP)應用，濃度的控制可大幅降低成本
■ 乙太網路數位傳輸，無訊號飄移問題，具遠端控制能力
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